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专利名称：一种硅片清洗干燥一体化装置及其清洗方法专利类型：发明专利
发明人：李杰,葛林五,陈景韶,葛林新,丁高生申请号：CN201810159849.1申请日：20180226公开号：CN1083813A公开日：20180810
摘要：本发明公开了一种硅片清洗干燥一体化装置，该装置包括可移动框架，在所述可移动框架中设有控制柜、气缸、升降装置、自动盖板和清洗槽，所述升降装置设置在箱体中，在箱体的一侧设有用于放置硅片承载花篮的支架，所述升降装置包括驱动电机、丝杆、连接杆、连接套筒，所述驱动电机设置在箱体的底端面上，所述驱动电机通过齿轮驱动丝杆旋转，在所述丝杆的下部设有限位槽，在所述限位槽中设有与限位槽相匹配的限位块。本发明能够实现待清洗硅片不断的在清洗槽中上下运动，提高硅片的清洗质量和清洗效率；通过鼓泡口向内槽体中通入氮气，增加内槽体内清洗液的流动性和湍动性，增强清洗液对硅片表面的清洗效果和干燥效果。
申请人：上海提牛机电设备有限公司
地址：201405 上海市奉贤区堂富路88号101室
国籍：CN
代理机构：上海智力专利商标事务所(普通合伙)
代理人：周涛
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