（19）中华人民共和国国家知识产权局
（12）发明专利申请
（21）申请号 CN01132359.0 （22）申请日 2001.11.30
（71）申请人 中国科学院上海光学精密机械研究所
地址 201800 上海市800-211邮政信箱
（10）申请公布号 CN1350155A （43）申请公布日 2002.05.22
（72）发明人 欧阳斌;林礼煌;徐至展;张秉钧;莽燕萍 （74）专利代理机构 上海智信专利代理有限公司
代理人 李兰英
（51）Int.CI
G01B11/06;
权利要求说明书 说明书 幅图
（54）发明名称
光学波片的检测仪
（57）摘要
一种光学波片的检测仪,主要适用于测量
光学波片的厚度。包括含有支柱顶端的台顶,中间有支撑台,低端有台座的检测台。台顶的通光孔中心与支撑台通光孔中心与台座的通光孔中心是一条垂直线,与置于台顶单色光源发射的光束经过起偏器、全反射镜,穿过待测波片、再经过检偏器至探测器的光路的光轴重合。计算机控制两个分别与置放待测波片的上转盘和置放检偏器的下转盘
连接的步进电机。依据待测波片具有晶体双折射的特性,测得滞后角,获得待测波片的厚度。与在先技术相比,本发明的检测仪具有测量精度高,测量误差达到小于1微米。使用方便,操作简单可靠。
法律状态
法律状态公告日
2002-03-20 2002-05-22 2004-08-18 2005-06-22 2011-02-16
法律状态信息
实质审查的生效
公开
实质审查的生效 授权 专利权的终止
法律状态
实质审查的生效 公开
实质审查的生效 授权 专利权的终止
权利要求说明书
光学波片的检测仪的权利要求说明书内容是....请下载后查看
说明书
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