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专利名称：干涉物镜和光干涉测量装置专利类型：发明专利发明人：本桥研
申请号：CN201610006884.0申请日：20160105公开号：CN105758294A公开日：20160713
摘要：干涉物镜，包括：物镜系统；分束器，其被置于测量对象的测量表面和物镜系统的末梢端之间，将从物镜系统发出的光分光到参考光路和测量光路，并输出将通过参考光路的反射光和通过测量对象的反射光组合的组合波；参考镜，其被置于参考光路中，并反射由分束器分光到参考光路的光；镜保持组件，其具有球面形外表面，并保持参考镜，使得参考镜的反射表面通过球面的中心；支撑组件，其具有球面形内表面，并通过内表面支撑镜保持组件的外表面，其中所述内表面具有基本等于镜保持组件的外表面的直径；以及参考镜调节机构，其调节镜保持组件在支撑组件中的位置。
申请人：株式会社三丰
地址：日本神奈川县
国籍：JP
代理机构：北京市柳沈律师事务所
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