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专利名称:硅单结晶拉升用石英玻璃坩埚及硅单结晶的制造方
法
专利类型:发明专利
发明人:藤代胜,高桥文雄,阿部史,中岛真一,筒井忍申请号:CN201080007369.5申请日:20100209公开号:CN102317511A公开日:20120111
摘要:本发明提供一种硅单结晶拉升用石英玻璃坩埚及使用该石英玻璃坩埚的硅单结晶的制造方法,其不会发生散布地产生于内表面的结晶化物质的剥离,且不会如在将结晶层形成在内表面全面时结晶层的一部分略微剥离而形成气体释出孔,熔解硅亦不会从因略微剥离而产生的气体释出孔进入结晶层与其下的玻璃层之间,由此可获得高的成品率。本发明的石英玻璃坩埚在内表面具有结晶化促进剂含有层,在进行硅单结晶的拉升时,通过结晶化促进剂在内表面形成有斑状的结晶化区域。
申请人:株式会社仓元制作所
地址:日本宫城县
国籍:JP
代理机构:隆天国际知识产权代理有限公司
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